潔凈室對(duì)等級(jí)表粒徑之外的粒子之粒徑和計(jì)數(shù)的考慮

E．1  通則

    在某些情況下，特別是與具體工藝要求相連的情況下，可以依據(jù)等級(jí)表粒徑范圍之外的粒子群體規(guī)定另外適用的空氣潔凈度級(jí)別。用戶和供應(yīng)商應(yīng)就這類粒子的最大允許濃度和選擇驗(yàn)證相符性的測(cè)試方法等問(wèn)題達(dá)成協(xié)議。在E．2（U描述符）和E．3（M描述符）中給出了關(guān)于測(cè)試方法和規(guī)定的技術(shù)要求形式的考慮。

E．2  小于0.1μm的粒子（超微粒子）的評(píng)價(jià)——U描述符

E．2．1  應(yīng)用

    如果要評(píng)定小于0.1μm的粒子造成的污染危險(xiǎn)，應(yīng)采用適合于這類粒子具體特性的采樣裝置和測(cè)量程序。

    應(yīng)該按照B．4．1確定采樣點(diǎn)的數(shù)目，最小采樣量V_s應(yīng)為2L（B.4.2.2）

E．2．2  U描述符的形式

    U描述符的超微粒子濃度可以單獨(dú)應(yīng)用，或者是作為懸浮粒子潔凈度級(jí)別的補(bǔ)充來(lái)應(yīng)用。U描述符用“U（x;y）”的形式表示，其中，

    x——超微粒子的最大允許濃度（以超微粒子pc/m³空氣表示）；

    y——以微米計(jì)的粒徑的，用適宜的離散粒子計(jì)數(shù)器對(duì)這種粒子數(shù)計(jì)數(shù)時(shí)，計(jì)數(shù)效率為50%。

實(shí)例  如粒徑范圍為，最大允許超微粒子的濃度為140000 pc/m³，其標(biāo)識(shí)符為“U（140000；0.1μm）”。

注1 在IEST-G-CC1002[1]中給出了小于0.1μm的懸浮粒子濃度測(cè)試方法。

注2 如果用U描述符作為懸浮粒子潔凈度級(jí)別的補(bǔ)充，超微粒子的濃度（x）不得小于規(guī)定的ISO等級(jí)之0.1μm被考慮粒徑適用的粒子濃度限值（pc/m³）。

E．3  大于5μm的粒子（大粒子）的評(píng)價(jià)——M描述符

E．3．1  應(yīng)用

    如果要評(píng)定大于5μm的粒子造成的污染危險(xiǎn)，應(yīng)采用適合于這類粒子具體特性的采樣裝置和測(cè)量程序。

    懸浮粒子群體中的大粒子主要是在工藝環(huán)境中釋放出的粒子。應(yīng)該根據(jù)具體的應(yīng)用來(lái)確定適用的采樣裝置和測(cè)量程序。需要考慮的因素有粒子的密度、形狀、容積和空氣動(dòng)力特性。還可能需要特殊強(qiáng)調(diào)的在總懸浮粒子中的特殊成份，如纖維。

E．3．2  M描述符的形式

    M描述符可以單獨(dú)應(yīng)用，或者是作為懸浮粒子潔凈度級(jí)別的補(bǔ)充來(lái)應(yīng)用。M描述符用“M（a; b）; c”的形式表示，其中，

    a——大粒子的最大允許濃度（以大粒子pc/m³空氣表示）；

    b——當(dāng)量直徑（或直徑），與規(guī)定的測(cè)量大粒子的方法相關(guān)（以微米表示）；

    c——規(guī)定的測(cè)量方法

注1  如果采樣的懸浮粒子群體中含有纖維，則可以向M描述符附加一個(gè)單獨(dú)的纖維用描述符，表示形式為M_fiber (a; b; ):c。

例1  如果使用測(cè)定粒子空氣動(dòng)力直徑的浮游氣溶膠粒子計(jì)數(shù)器，粒徑范圍為≥5μm的懸浮粒子的濃度為10000 pc/m³，則其標(biāo)識(shí)符為“M(10000;>5μm)；浮游氣溶膠粒子計(jì)數(shù)器”。

例2  如果使用多級(jí)沖擊取樣器，然后再用顯微法測(cè)定粒徑并計(jì)數(shù)，粒徑范圍為10-20μm的懸浮粒子的濃度為1000 pc/m³，則其標(biāo)識(shí)符為“M(1000;10-20μm)；多級(jí)沖擊采樣器，然后再用顯微法測(cè)定粒徑并計(jì)數(shù)”。

注2  在IEST-G-CC1003[2]中給出了大于5μm的懸浮粒子濃度的測(cè)試方法。

注3  如果用M描述符作為懸浮粒子潔凈度級(jí)別的補(bǔ)充，大粒子的濃度(a)不得大于規(guī)定的ISO等級(jí)之5μm被考慮粒徑適用的粒子嘗試限值（pc/m³）。