無(wú)塵布檢測(cè)領(lǐng)域中的一種潔凈室用無(wú)塵布擦拭發(fā)塵量的檢測(cè)方法，包括準(zhǔn)備儀器及試劑、干式擦拭測(cè)試、濕式擦拭測(cè)試以及計(jì)算等步驟。本發(fā)明解決了目前潔凈室擦拭布行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)中對(duì)無(wú)塵布實(shí)際使用擦拭過(guò)程中由于摩擦產(chǎn)生的顆粒物、毛屑、毛羽等微粒檢測(cè)方法的缺失，給潔凈室無(wú)塵布，尤其是高潔凈度無(wú)塵布在干態(tài)或濕態(tài)使用環(huán)境和過(guò)程中提供了一種客觀，可靠的潔凈度數(shù)據(jù)支持和評(píng)價(jià)。

技術(shù)特征：

1.一種潔凈室用無(wú)塵布擦拭發(fā)塵量的檢測(cè)方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1、準(zhǔn)備測(cè)試儀器及試劑，包括層流潔凈室或工作環(huán)境、工業(yè)用異丙醇、光學(xué)顯微鏡、平板玻璃、不銹鋼長(zhǎng)方體、無(wú)塵布、潔凈室用手套、潔凈剪刀、潔凈鑷子、潔凈燒杯、潔凈量筒以及專用清潔擦拭溶液，其中所述平板玻璃上帶有網(wǎng)格線，所述網(wǎng)格線的中央為測(cè)試空格，所述不銹鋼長(zhǎng)方體的背面帶有用于固定擦拭布的不銹鋼夾和可帶動(dòng)不銹鋼長(zhǎng)方體左右移動(dòng)的支架；

步驟2、干式擦拭，分別在空白狀態(tài)和用無(wú)塵擦拭布樣品擦拭后，潔凈室，潔凈間，潔凈房，潔凈工程，潔凈無(wú)塵室，潔凈凈化車間用所述光學(xué)顯微鏡在所述測(cè)試空格進(jìn)行查看測(cè)試≥100μm的微粒并記錄；

步驟3、濕式擦拭，分別在空白狀態(tài)和用濕潤(rùn)后的無(wú)塵擦拭布樣品擦拭后，用所述光學(xué)顯微鏡在所述測(cè)試空格進(jìn)行查看測(cè)試≥100μm的微粒并記錄；

步驟4、無(wú)塵布樣品擦拭發(fā)塵量按照如下公式計(jì)算：

X=[（A21-A11）+…+（A25-A15）]/5S

式中：

X為無(wú)塵布樣品干態(tài)/濕態(tài)擦拭發(fā)塵量，單位為個(gè)每平方厘米，

A11、A12、A13、A14、A15為測(cè)試空格空白測(cè)試微粒總數(shù)，單位為個(gè)，

A21、A22、A23、A24、A25為測(cè)試空格擦拭后測(cè)試微?？倲?shù)，單位為個(gè)，

S為測(cè)試空格的總面積，單位為平方厘米，

所得結(jié)果修約至整數(shù)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室用無(wú)塵布擦拭發(fā)塵量的檢測(cè)方法，其特征在于，在步驟1中，所述層流潔凈室或工作環(huán)境符合ISO 14644-1：1999 中規(guī)定的5級(jí)或潔凈度更高的要求。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室用無(wú)塵布擦拭發(fā)塵量的檢測(cè)方法，其特征在于，在步驟1中，所述工業(yè)用異丙醇符合GB/T 7814-2008要求。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室用無(wú)塵布擦拭發(fā)塵量的檢測(cè)方法，其特征在于，在步驟1中，得到光學(xué)顯微鏡的測(cè)微尺測(cè)量的最小刻度為100μm，放大倍數(shù)為≥40倍。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室用無(wú)塵布擦拭發(fā)塵量的檢測(cè)方法，其特征在于，在步驟1中，所述平板玻璃的底面帶有精確到厘米的網(wǎng)格線。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的潔凈室用無(wú)塵布擦拭發(fā)塵量的檢測(cè)方法，其特征在于，所述網(wǎng)格線的最中間為4cm×4cm的測(cè)試空格，所述測(cè)試空格的外部為10cm×10cm的過(guò)度測(cè)試格，所述過(guò)度測(cè)試格的上、下、左、右外側(cè)分別為5cm×10cm的外部測(cè)試格。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室用無(wú)塵布擦拭發(fā)塵量的檢測(cè)方法，其特征在于，所述步驟2的干式擦拭具體包括：

步驟21、將平板玻璃正面用無(wú)塵布和異丙醇擦拭干凈，然后用所述光學(xué)顯微鏡在所述網(wǎng)格線的所述測(cè)試空格進(jìn)行查看測(cè)試≥100μm的微粒，計(jì)數(shù)空白值總和A11’；

步驟22、選取無(wú)塵布樣品，用光學(xué)顯微鏡在所述測(cè)試空格進(jìn)行查看測(cè)試≥100μm的微粒，計(jì)數(shù)空白值總和A21’；

步驟23、按照如上步驟，再進(jìn)行4次測(cè)試，分別得到A12’、A13’、A14’、A15’和A22’、A23’、A24’、A25’。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的潔凈室用無(wú)塵布擦拭發(fā)塵量的檢測(cè)方法，其特征在于，在步驟22中，具體包括以下步驟：

1）選取無(wú)塵布樣品，用所述潔凈鑷子自然平鋪在所述平板玻璃最中間位置，邊部同所述平板玻璃平行，后將所述不銹鋼長(zhǎng)方體輕壓到所述無(wú)塵布樣品的最中間，所述不銹鋼長(zhǎng)方體的邊也與所述平板玻璃的邊相互平行，然后將無(wú)塵布樣品的四周翻轉(zhuǎn)到不銹鋼長(zhǎng)方體上，并用不銹鋼長(zhǎng)方體四周的固定夾對(duì)無(wú)塵布樣品進(jìn)行固定；

2）將包裹所述無(wú)塵布樣品的所述不銹鋼長(zhǎng)方體移動(dòng)到最中間位置，使所述不銹鋼長(zhǎng)方體的四邊，同所述平板玻璃上最中間網(wǎng)格線的四邊對(duì)齊，所述支架開(kāi)始以20cm/s的速度，在網(wǎng)格線上左右移動(dòng)擦拭，再上下移動(dòng)擦拭，將所述不銹鋼長(zhǎng)方體拿起從空中移走，并廢棄無(wú)塵布樣品；

3）用光學(xué)顯微鏡在測(cè)試空格進(jìn)行查看測(cè)試≥100μm的微粒并計(jì)數(shù)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的潔凈室用無(wú)塵布擦拭發(fā)塵量的檢測(cè)方法，其特征在于，所述步驟3的濕式擦拭具體包括：

步驟31、將所述平板玻璃正面用無(wú)塵布和異丙醇擦拭干凈，潔凈室，潔凈間，潔凈房，潔凈工程，潔凈無(wú)塵室，潔凈凈化車間后再用所述光學(xué)顯微鏡在最中間的測(cè)試空格進(jìn)行查看測(cè)試≥100μm的微粒，計(jì)數(shù)空白值總和A11”；

步驟32、選取無(wú)塵布樣品并進(jìn)行濕潤(rùn)，用光學(xué)顯微鏡在所述測(cè)試空格進(jìn)行查看測(cè)試≥100μm的微粒，計(jì)數(shù)空白值總和A21”；

步驟33、按照如上步驟，再進(jìn)行4次測(cè)試，分別得到A12”、A13”、A14”、A15”和A22”、A23”、A24”、A25”。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的潔凈室用無(wú)塵布擦拭發(fā)塵量的檢測(cè)方法，其特征在于，在步驟32中，具體包括以下步驟：

1）先選取無(wú)塵布樣品并稱取重量，放入潔凈燒杯中并按照1.6ml/g的比例加入所述專用清潔擦拭溶液；后將潤(rùn)濕的無(wú)塵布樣品用潔凈鑷子平整地鋪放在平板玻璃最中間位置，邊部同平板玻璃平行，然后將所述不銹鋼長(zhǎng)方體輕壓到無(wú)塵布樣品的最中間，所述不銹鋼長(zhǎng)方體的邊也與所述平板玻璃的邊相互平行，然后將所述無(wú)塵布樣品的四周翻轉(zhuǎn)到所述不銹鋼長(zhǎng)方體上，并用所述不銹鋼長(zhǎng)方體四周的固定夾對(duì)所述無(wú)塵布樣品進(jìn)行固定；

2）將包裹潤(rùn)濕無(wú)塵布的所述不銹鋼長(zhǎng)方體移動(dòng)到最中間位置，潔凈室，潔凈間，潔凈房，潔凈工程，潔凈無(wú)塵室，潔凈凈化車間使所述不銹鋼長(zhǎng)方體的四邊與所述平板玻璃上最中間網(wǎng)格線的四邊對(duì)齊，然后所述支架開(kāi)始以20cm/s的速度在所述網(wǎng)格線上左右移動(dòng)擦拭，再上下移動(dòng)擦拭，將所述不銹鋼長(zhǎng)方體拿起從空中移走，并廢棄所述無(wú)塵布樣品；

3）用光學(xué)顯微鏡在測(cè)試空格進(jìn)行查看測(cè)試≥100μm的微粒并計(jì)數(shù)。