潔凈室氣流檢測

6. 6．1 潔凈室氣流檢測應(yīng)符合下列規(guī)定：
   1 不應(yīng)用氣流動態(tài)數(shù)值模擬(CFD)的分析結(jié)果代替潔凈室氣流檢測；
   2 氣流檢測包括氣流流型、氣流流向、流線平行性等，可采用絲線法或示蹤劑法(發(fā)煙等)等，逐點(diǎn)觀察和記錄氣流流向，并可用量角器測量氣流角度，也可采用照相機(jī)或攝像機(jī)等圖像處理技術(shù)進(jìn)行記錄，采用熱球式風(fēng)速儀或超聲三維風(fēng)速儀等測量各點(diǎn)氣流速度；
   3 采用絲線法時可采用尼龍單絲線、薄膜帶等輕質(zhì)材料，放置在測試桿的末端，或裝在氣流中細(xì)絲格柵上，直接觀察出氣流的方向和因干擾引起的波動；
   4 采用示蹤劑法時，可采用去離子(DI)水，用固態(tài)二氧化碳(干冰)或超聲波霧化器等生成直徑為0．5μm～50μm的水霧，采用四氯化鈦(TiCl₄)等“酸霧”作示蹤劑時，應(yīng)確保不致對潔凈室、室內(nèi)設(shè)備以及操作人員產(chǎn)生危害。


6．6．2 潔凈室氣流檢測應(yīng)按下列步驟及方法進(jìn)行：
   1 氣流流型檢測時，對于垂直單向流潔凈室可選擇潔凈室縱、橫剖面各一個，以及距地面高度0．8m、1. 5m的水平面各一個；水平單向流潔凈室可選擇縱剖面和工作區(qū)高度水平面各一個，以及距送、回風(fēng)墻面0．5m和房間中心處等3個橫剖面。所有面上的測點(diǎn)間距均應(yīng)為0．2m～1. 0m。對于亂流潔凈室，應(yīng)選擇通過代表性送風(fēng)口中心的縱、橫剖面和工作區(qū)高度的水平面各1個，剖面上的測點(diǎn)間距應(yīng)為0．2m～0．5m，水平面上的測點(diǎn)間距應(yīng)為0．5m～1．0m。兩個風(fēng)口之間的中線上應(yīng)設(shè)置測點(diǎn)；
   2 氣流流向檢測時，應(yīng)在被測區(qū)域內(nèi)前后之間設(shè)置多個測點(diǎn)；
   3 流線平行性檢測時，應(yīng)在每臺過濾器下設(shè)置測點(diǎn)。

非單向流潔凈室自凈能力檢測

6．7．1 非單向流潔凈室自凈能力檢測應(yīng)符合下列規(guī)定：
   1 非單向流潔凈室自凈能力檢測宜適用于ISO6級和ISO7級潔凈室，對于更低級別的潔凈室不宜檢測；
   2 自凈能力檢測可采用計(jì)算自凈時間和實(shí)測自凈時間比對的方法，具體檢測方法應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》GB 50591的規(guī)定；
   3 宜采用100：1自凈時間檢測法進(jìn)行檢測，同時采用大氣塵或人工塵源，采用粒子計(jì)數(shù)器測試。

6．7．2 非單向流潔凈室自凈能力檢測應(yīng)按下列步驟及方法進(jìn)行：
   1 將室內(nèi)濃度升高到100倍的潔凈室級別上限濃度，采用塵埃粒子計(jì)數(shù)器對室內(nèi)潔凈度進(jìn)行間隔1min的連續(xù)檢測，記錄達(dá)到級別上限濃度所需要的時間；
   2 自凈速率、100：1