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1、塵埃粒子數(shù)/立方米,要求對≥0.5μm和≥5μm的塵粒均測定,浮游菌/立方米和沉降菌/皿,可任測一種。
2、100級潔凈室(區(qū))0.8米高的工作區(qū)的截面最低風(fēng)速:垂直單向流0.25米/秒;水平單向流0.35米/秒。
3、潔凈室的測定參照J(rèn)GJ 71-90《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》執(zhí)行。 (4)對于空氣潔凈度為100級的潔凈室內(nèi)大于等于5微米塵粒的計(jì)算應(yīng)進(jìn)行多次采樣。當(dāng)其多次出現(xiàn)時(shí),方可認(rèn)為該測試數(shù)值是可靠的。空氣潔凈度等級
3.0.1 潔凈室及潔凈區(qū)內(nèi)空氣中懸浮粒子空氣潔凈度等級應(yīng)符合下列規(guī)定:
1 潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級應(yīng)按表3.0.1確定。
表3.0.1 潔凈室及潔凈區(qū)空氣潔凈度整數(shù)等級
空氣潔凈度 等級(N) | 大于或等于要求粒徑的最大濃度限值(pc/m3) | |||||
0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1μm | 5μm | |
1 | 10 | 2 | — | — | — | — |
2 | 100 | 24 | 10 | 4 | — | — |
3 | 1000 | 237 | 102 | 35 | 8 | — |
4 | 10 000 | 2370 | 1020 | 352 | 83 | — |
5 | 100 000 | 23 700 | 10 200 | 3520 | 832 | 29 |
6 | 1 000 000 | 237 000 | 102 000 | 35 200 | 8320 | 293 |
7 | — | — | — | 352 000 | 83 200 | 2930 |
8 | — | — | — | 3 520 000 | 832 000 | 29 300 |
9 | — | — | — | 35 200 000 | 8 320 000 | 293 000 |
注:按不同的測量方法,各等級水平的濃度數(shù)據(jù)的有效數(shù)字不應(yīng)超過3位。
2 各種要求粒徑D的最大濃度限值Cn應(yīng)按下式計(jì)算:
式中:Cn——大于或等于要求粒徑的最大濃度限值(pc/m3)。Cn是四舍五入至相近的整數(shù),有效位數(shù)不超過三位數(shù);
N——空氣潔凈度等級,數(shù)字不超過9,潔凈度等級整數(shù)之間的中間數(shù)可以按0.1為最小允許遞增量;
D——要求的粒徑(μm);
0.1——常數(shù),其量綱為μm。
3 當(dāng)工藝要求粒徑不止一個(gè)時(shí),相鄰兩粒徑中的大者與小者之比不得小于1.5倍。
4 空氣潔凈度等級的粒徑范圍應(yīng)為0.1μm~0.5μm,超出粒徑范圍時(shí)可采用U描述符或M描述符補(bǔ)充說明。
3.0.2 空氣潔凈度等級所處狀態(tài)包括空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài),空氣潔凈度等級所處狀態(tài)應(yīng)與業(yè)主協(xié)商確定。
3.0.3 空氣潔凈度的測試方法應(yīng)按本規(guī)范附錄A的要求進(jìn)行。
3.0.4 當(dāng)潔凈室(區(qū))內(nèi)的產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求控制微生物、化學(xué)污染物時(shí),應(yīng)根據(jù)工藝特點(diǎn)對各空氣潔凈度等級規(guī)定相應(yīng)的微生物、化學(xué)污染物濃度限值。