潔凈廠房設(shè)置多套凈化空調(diào)系統(tǒng)，新風(fēng)集中處理的時(shí)候?qū)π路繖C(jī)組功能的要求。主要是為了安全和節(jié)能。一般有潔凈等級(jí)的潔凈室，高效過(guò)濾器宜設(shè)在空調(diào)系統(tǒng)末端；對(duì)于三級(jí)過(guò)濾凈化空調(diào)，高效過(guò)濾器可設(shè)在凈化空調(diào)機(jī)組內(nèi)中效過(guò)濾器后的正壓段上。空氣過(guò)濾器分類(lèi)、性能指標(biāo)參照了現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《空氣過(guò)濾器》GB／T 14295和《高效空氣過(guò)濾器》GB／T 13554的規(guī)定。在多晶硅廠房設(shè)計(jì)中，一般常用的過(guò)濾器有粗效過(guò)濾器、中效過(guò)濾器、亞高效過(guò)濾器、高效過(guò)濾器。

10．3．2 本條主要是從安全、節(jié)能、環(huán)保及便于運(yùn)行管理等方面考慮的。

10．3．3 本條中空氣潔凈度等級(jí)及送風(fēng)量主要依據(jù)現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073，潔凈室送風(fēng)量(靜態(tài))和氣流流型見(jiàn)表1。

表1 潔凈室送風(fēng)量(靜態(tài))和氣流流型

    表1中換氣次數(shù)適用于層高小于4．0m的潔凈室；室內(nèi)人員少、熱源少時(shí)，宜采用下限值。
    根據(jù)國(guó)內(nèi)現(xiàn)有多晶硅生產(chǎn)廠房的實(shí)際情況制訂的“三級(jí)過(guò)濾”，就是將粗、中、高效過(guò)濾段全部設(shè)在凈化空調(diào)機(jī)組內(nèi)，用風(fēng)管將凈化的空氣直接送入潔凈室或房間，不再設(shè)高效過(guò)濾器送風(fēng)口。這種空氣凈化形式可以滿(mǎn)足多晶硅廠房部分工藝生產(chǎn)的要求，減少投資，運(yùn)行管理方便。這里規(guī)定還原爐室的送風(fēng)換氣次數(shù)，主要是對(duì)應(yīng)還原爐室的排風(fēng)量不得小于6次／h的換氣次數(shù)。


10．3．4 本條是強(qiáng)制性條文。關(guān)于潔凈室新鮮空氣量的問(wèn)題，現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》GBZ 1和《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50019都對(duì)空調(diào)房間人員所需最小新風(fēng)量作了強(qiáng)制規(guī)定，“工業(yè)建筑應(yīng)保證每人不小于30m³／h的新風(fēng)量”。現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50073規(guī)定“保證供給潔凈室每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m³”，因此本規(guī)定對(duì)潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)的新風(fēng)量采用了不同標(biāo)準(zhǔn)，以保障人身安全。

10．3．5 “集中送風(fēng)”是指凈化空調(diào)機(jī)組設(shè)在空調(diào)機(jī)房，空氣經(jīng)過(guò)過(guò)濾、加熱、制冷、加濕等集中處理之后，由風(fēng)管送入潔凈室?！帮L(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組”是指由風(fēng)機(jī)和高效過(guò)濾單元組成的機(jī)組。多晶硅廠房?jī)艋照{(diào)系統(tǒng)，一般潔凈等級(jí)在6級(jí)以下時(shí)，采用集中送風(fēng)形式；潔凈等級(jí)在5級(jí)以上(包括5級(jí))時(shí)，采用集中送風(fēng)加風(fēng)機(jī)過(guò)濾機(jī)組的形式。

10．3．6 本條是強(qiáng)制性條文，對(duì)潔凈室壓差控制作出規(guī)定。為了保證潔凈室在正常工作或空氣平衡暫時(shí)受到破壞時(shí)，氣流能從空氣潔凈度高的區(qū)域流向空氣潔凈度低的區(qū)域，而且潔凈室的潔凈度不受污染空氣的干擾，所以潔凈室與周?chē)h(huán)境應(yīng)保持一定的壓差。

10．3．7 本條是保證潔凈室壓差控制的措施。

10．3．8 本條對(duì)潔凈室噪聲級(jí)提出要求?！翱諔B(tài)”是指潔凈室設(shè)施已經(jīng)建成，所有動(dòng)力接通并運(yùn)行，但無(wú)生產(chǎn)設(shè)備、材料及人員的階段。

10．3．9 本條是強(qiáng)制性條文。還原車(chē)間生產(chǎn)使用氫氣，火災(zāi)危險(xiǎn)性分類(lèi)為甲類(lèi)，現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范》GB 50019相關(guān)條文強(qiáng)制規(guī)定，甲、乙類(lèi)生產(chǎn)廠房不應(yīng)使用循環(huán)空氣，
以保障人身安全。

10．3．10 腐蝕清洗室、配件清洗室、硅棒破碎室空氣潔凈度分別為7級(jí)以上、8級(jí)、7級(jí)，工藝生產(chǎn)有酸性腐蝕性氣體或有粉塵，局部排風(fēng)不能完全排除酸氣及粉塵，這樣凈化空調(diào)系統(tǒng)就不應(yīng)回風(fēng)。

10．3．11 本條是潔凈廠房設(shè)置多套凈化空調(diào)系統(tǒng)，新風(fēng)集中處理的時(shí)候?qū)π路繖C(jī)組功能的要求。主要是為了安全和節(jié)能。

10．3．12 空氣過(guò)濾器分類(lèi)、性能指標(biāo)參照了現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《空氣過(guò)濾器》GB／T 14295和《高效空氣過(guò)濾器》GB／T 13554的規(guī)定。在多晶硅廠房設(shè)計(jì)中，一般常用的過(guò)濾器有粗效過(guò)濾器、中效過(guò)濾器、亞高效過(guò)濾器、高效過(guò)濾器。
    過(guò)濾器的額定風(fēng)量是過(guò)濾器在一定的過(guò)濾風(fēng)速下，其效率和阻力最合理時(shí)的風(fēng)量。如果大于額定風(fēng)量，過(guò)濾器阻力增大，導(dǎo)致系統(tǒng)阻力增加。對(duì)于高效過(guò)濾器，風(fēng)速過(guò)大有可能吹破濾紙。
    中效過(guò)濾器集中設(shè)置在凈化空調(diào)機(jī)組的正壓段，主要是考慮到機(jī)組的負(fù)壓段向內(nèi)漏風(fēng)，影響過(guò)濾效果。
    一般有潔凈等級(jí)的潔凈室，高效過(guò)濾器宜設(shè)在空調(diào)系統(tǒng)末端；對(duì)于三級(jí)過(guò)濾凈化空調(diào)，高效過(guò)濾器可設(shè)在凈化空調(diào)機(jī)組內(nèi)中效過(guò)濾器后的正壓段上。

10．3．14 在凈化空調(diào)系統(tǒng)中，空氣過(guò)濾器的阻力占空調(diào)系統(tǒng)總阻力的比例很大，空氣過(guò)濾器的阻力會(huì)隨著容塵量的增多而增加，使系統(tǒng)的風(fēng)量減少，因此在計(jì)算系統(tǒng)阻力時(shí)應(yīng)按過(guò)濾器的終阻力計(jì)算。系統(tǒng)初運(yùn)行時(shí)，過(guò)濾器初阻力較小，系統(tǒng)阻力低，風(fēng)機(jī)采用變頻裝置可以調(diào)節(jié)風(fēng)量，達(dá)到節(jié)能目的。