潔凈室靜電測試方法

C．15．1 潔凈室(區(qū))內(nèi)的地面、墻面和工作臺面等的表面導(dǎo)靜電性能的測試，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定。宜采用高阻計進(jìn)行測試。

C．15．2 在相關(guān)表面的導(dǎo)靜電測試表面上采用圖C．15．2所示的測試裝置進(jìn)行表面電阻和泄漏電阻的測量。圓柱形銅電極的直徑應(yīng)為60mm，質(zhì)量應(yīng)為2．0kg；2個銅電極之間的距離應(yīng)大于或等于900mm。

1-高阻計；2-被測表面；3-圓柱形銅電極；4-濕濾紙墊