潔凈室分級實例

B．1  醫(yī)藥產(chǎn)品

    B．1中給出了在藥品制造中頻繁使用的制造應(yīng)用和潔凈度等級的相關(guān)性。在對微粒和微生物進(jìn)行控制的加工核心區(qū)對部件進(jìn)行無菌加工，然后在無菌核心區(qū)，對消毒產(chǎn)品進(jìn)行灌裝。

    人員和加工材料都要經(jīng)過幾道潔凈度逐漸升級的小室（降低微粒濃度），才能進(jìn)入無菌核心區(qū)。通常作法是經(jīng)過幾道潔凈度逐漸升級的小室，人員進(jìn)入?yún)^(qū)按要求進(jìn)行各種級別的更衣。同樣，進(jìn)入各區(qū)的材料也要以適用于進(jìn)入?yún)^(qū)的不同的方式進(jìn)行處理，排隊微粒和/或微生物污染。

表B。1——無菌加工用潔凈室實例

B．2  微電子

    在微電子行業(yè)中，器件特性尺寸極小，或薄膜厚度極小，因而限定了污染控制標(biāo)準(zhǔn)和相應(yīng)的潔凈度等級。

    經(jīng)常以臨界粒徑為基準(zhǔn)，選擇最低粒子嘗試的潔凈度等級。臨界粒徑（通常設(shè)定為最小特性尺寸的1/10）有助于選擇符合潔凈室要求的潔凈度等級。

    不同加工核心區(qū)的潔凈度等級是依據(jù)污染的概率和潛在的器件故障來確定的。

    例如，光刻工序中，晶片暴露在環(huán)境中，污染概率極高時器件的不合格率也會極高。因此，在微電子行業(yè)中，要防止出現(xiàn)這種危害，通常會使用隔離區(qū)或微環(huán)境，把工藝核心區(qū)分離開，達(dá)到降低粒子濃度的目的和實現(xiàn)其它工藝參數(shù)（如：溫度、濕度、壓力）。

    工作區(qū)是由人和/或自動處理設(shè)備對晶片或管芯進(jìn)行加工的區(qū)域。在工作區(qū)內(nèi)，如果產(chǎn)品直接暴露于環(huán)境中，則污染的可能性就會很高。保護(hù)工作區(qū)內(nèi)產(chǎn)品的最通用的方法是單向流，盡可能降低每立方米潔凈室的占用和生產(chǎn)負(fù)荷，越來越多地利用屏障技術(shù)和微環(huán)境把人與暴露的產(chǎn)品隔離開。最常用的方法是用物理屏障和氣流把工作區(qū)與非臨界的鄰區(qū)分隔開。

    公用設(shè)施區(qū)是通常放置晶片加工設(shè)備無操作員的接口部分。動力區(qū)內(nèi)正在進(jìn)行的工作一般不暴露于環(huán)境中。一個加工核心區(qū)的公用設(shè)施區(qū)通常與其相對應(yīng)的工作區(qū)相鄰。

    服務(wù)區(qū)是既無產(chǎn)品又無加工設(shè)備的區(qū)。其位置告訴工作區(qū)和公共設(shè)施區(qū)，有助于分離潔凈區(qū)和低潔凈區(qū)。（見表B.2）

表B.2——微電子用潔凈室實例

B．3  潔凈室工作服的影響

    對潔凈室內(nèi)人員的數(shù)目和潔凈服和種類，需特殊考慮粒子散發(fā)問題（見本國際標(biāo)準(zhǔn)的相關(guān)部分）。