空氣潔凈度等級（air cleanliness class）：潔凈空間單位體積空氣中，以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進(jìn)行劃分的等級標(biāo)準(zhǔn)。國內(nèi)按空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)對無塵車間進(jìn)行測試、驗(yàn)收，符合《GB50073-2013 潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》、《GB50591-2010 潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》。

潔凈度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性，是檢驗(yàn)無塵車間質(zhì)量的核心標(biāo)準(zhǔn)，該標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)區(qū)域環(huán)境、潔凈程度等因素，分為若干等級，常用的有國際標(biāo)準(zhǔn)和國內(nèi)區(qū)域行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。

ISO14644-1國際標(biāo)準(zhǔn)—空氣潔凈度等級劃分

GB50073-2013 國家標(biāo)準(zhǔn)—空氣潔凈度等級

中國GMP（2010年修訂）新版GMP附錄1 無菌藥品.第三章.第九條……潔凈區(qū)各級別空氣懸浮粒子的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定如下

各國潔凈度等級近似對照表

無塵車間（潔凈室）等級說明

使用者在開無塵室的等級給供貨商時(shí)，有以下幾個(gè)小技巧。

首先是等級定義的模式如下：

Class X (at Y μm )

其中X是無塵室的等級，例如100或10000等等，Y是粒徑如0.2μm , 0.5μm等，可復(fù)選。意思就是使用者規(guī)定，該無塵室微粒含量，在這些粒徑必須滿足該等級的限度。這樣可以減少紛爭，以下是幾個(gè)例子：

Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)

Class 100(0.2μm , 0.5μm )

Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )

在Classes 100 (M3.5) and Greater  (Class 100，1000，10000....)，一般看一個(gè)粒徑即可。在Classes Less than 100 (M3.5)  (Class 10，1.... )，一般要看多幾個(gè)粒徑。

第二個(gè)技巧是規(guī)定無塵室的狀態(tài)，例如：

Class X (at Y μm )，At-rest

供貨商就很清楚知道無塵室要在At-rest狀態(tài)下驗(yàn)收。

第三個(gè)技巧是自訂微粒濃度上限，一般在As-built時(shí)無塵室都很干凈，微?？刂颇芰y試不易，這時(shí)可以干脆把驗(yàn)收上限壓低，例如：

Class 10000 (0.3 μm <= 10000)，As-built

Class 10000 (0.5 μm <= 1000)，As-built

這樣做的目的是確保無塵室在Operational狀態(tài)時(shí)，依然有足夠的微?？刂颇芰?。

半導(dǎo)體行業(yè)潔凈室案例圖集

1、 黃光車間多建在百級潔凈區(qū)，千級潔凈區(qū)也有涉及

2、半導(dǎo)體潔凈室（高架地板）常應(yīng)用于百級和千級區(qū)域

3、 常規(guī)半導(dǎo)體潔凈室（潔凈區(qū)：萬級至十萬級）

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