直接工藝

1.1

直接影響最終產(chǎn)品或服務(wù)的工藝

間接工藝

1.2

支持或間接影響最終產(chǎn)品或服務(wù)的工藝

污染物質(zhì)

2.1

活的或死的物質(zhì)

微粒

2.1.1

不同形狀的粒子

等級(jí)

2.1.1.1

按ISO標(biāo)準(zhǔn)ISO/DIS14644-1

粒徑

2.1.1.2

粒徑，M-和U-描述符（見ISO/DIS14644-1中附錄E）/基本的、超微的、大的粒子和纖維

恢復(fù)時(shí)間

2.1.1.3

從失常到穩(wěn)定的時(shí)間

化學(xué)品

2.1.2

分子、離子、氣體、冷凝液、金屬

數(shù)量

2.1.2.1

化學(xué)污染數(shù)量/重量/層，濃度

等級(jí)

2.1.2.2

遵照ISO/DIS14644-1 或其他標(biāo)準(zhǔn)

恢復(fù)時(shí)間

2.1.2.3

從失常到穩(wěn)定的時(shí)間

生物

2.1.3

可生存的、需氧或厭氧的或死的病原有機(jī)物/能繁殖的有機(jī)物

General類型

2.1.3.1

病毒、細(xì)菌、霉菌、其它

污染類型

2.1.3.2

侵蝕性表面、抗感染、病原體

傳播

2.1.3.3

從失常到穩(wěn)定的時(shí)間

作為污染物的能源

2.2

產(chǎn)生干擾的能源

振動(dòng)

2.2.1

運(yùn)動(dòng)范圍

幅度

2.2.1.1

最大移位

頻率

2.2.1.2

動(dòng)作速率

磁性

2.2.2

電磁場

場強(qiáng)

2.2.2.1

射頻

2.2.3

場強(qiáng)

2.2.3.1

輸入動(dòng)力

3.1

要求輸送到各工藝設(shè)備的物質(zhì)和能源

固體供應(yīng)要求

3.1.1

列出設(shè)備工藝使用的固體

固體供應(yīng)純度/濃度

3.1.1.1

列出每臺(tái)工藝設(shè)備使用的各種固體要求的純度/濃度

固體供應(yīng)數(shù)量

3.1.1.2

列出每臺(tái)設(shè)備工藝使用的各種固體量，包括進(jìn)入的和使用的最大/最小和公稱速率

氣體供應(yīng)要求

3.1.2

列出每臺(tái)工藝設(shè)備使用的各種氣體

氣體供應(yīng)純度

3.1.2.1

列出每臺(tái)工藝設(shè)備使用的各種氣體要求的純度

氣體供應(yīng)量

3.1.2.2

列出每臺(tái)工藝設(shè)備使用的各種氣體要求的量，包括進(jìn)入的和使用的最大/最小和公稱流量

壓力

3.1.2.3

列出每臺(tái)工藝設(shè)備使用的各種氣體要求的壓力，包括進(jìn)入的和使用的最大/最小和公稱值

液體供應(yīng)要求

3.1.3

列出每臺(tái)工藝設(shè)備使用的各種液體

液體供應(yīng)純度/濃度

3.1.3.1

列出每臺(tái)工藝設(shè)備使用的各種液體要求的純度/濃度

液體供應(yīng)數(shù)量

3.1.3.2

列出每臺(tái)工藝設(shè)備使用的各種液體需要量，包括進(jìn)入的和使用的最大/最小和公稱速率

液體供應(yīng)壓力

3.1.3.3

列出每臺(tái)工藝設(shè)備使用的各種液體要求的壓力，包括進(jìn)入的和使用的最大/最小和公稱值

電功率要求

3.1.4

列出每臺(tái)設(shè)備電功率要求

電壓

3.1.4.1

相

3.1.4.2

頻率

3.1.4.3

負(fù)荷

3.1.4.4

允許電功率波動(dòng)要求

3.1.4.5

列出每臺(tái)設(shè)備在無功率濾波情況下可接受的最大允許電功率波動(dòng)

輸出動(dòng)力

3.2

固體廢料要求

3.2.1

列出每臺(tái)設(shè)備的生產(chǎn)過程中報(bào)廢的固體

固體廢料純度/濃度

3.2.1.1

列出每臺(tái)設(shè)備的生產(chǎn)過程中報(bào)廢的固體的純度/濃度

固體廢料量

3.2.1.2

列出每臺(tái)設(shè)備的生產(chǎn)過程中報(bào)廢的固體量，包括最大/最小和公稱報(bào)廢量

排氣要求

3.2.2

列出每臺(tái)設(shè)備的生產(chǎn)過程中使用的排氣種類

排氣特性

3.2.2.1

列出每臺(tái)設(shè)備的生產(chǎn)過程中使用的排氣流種類（如酸、溶劑、熱、一般性的等）及其分別的濃度和溫度

排氣流量

3.2.2.2

列出每臺(tái)設(shè)備的生產(chǎn)過程中使用的排氣流量，包括進(jìn)入的和使用的最大/最小和公稱流率

排氣壓力

3.2.2.3

列出每臺(tái)設(shè)備的生產(chǎn)過程中使用的排氣壓力，包括進(jìn)入的和使用的最大/最小和公稱流率

廢液要求

3.2.3

列出每臺(tái)設(shè)備的生產(chǎn)過程中報(bào)廢的液體

廢液量

3.2.3.2

列出每臺(tái)設(shè)備的生產(chǎn)過程中報(bào)廢的液體量，包括最大/電波和公稱報(bào)廢量

環(huán)境參數(shù)

3.3

允許按原意圖使用工藝設(shè)備

溫度要求

3.3.1

列出每臺(tái)設(shè)備的最大、最小、最佳溫度要求，按設(shè)備部件內(nèi)、外單獨(dú)要求而列

升溫速度

3.3.1.1

列出每臺(tái)設(shè)備最大允許升溫率

降溫速度

3.3.1.2

列出每臺(tái)設(shè)備最大允許降溫率

濕度要求

3.3.2

列出每臺(tái)設(shè)備的最大、最小、最佳濕度要求，按設(shè)備部件內(nèi)、外單獨(dú)要求而列

濕度上升速度

3.3.2.1

列出每臺(tái)設(shè)備最大允許升濕率

濕度降低速度

3.3.2.2

列出每臺(tái)設(shè)備最大允許降濕率

振動(dòng)要求/限值

3.3.3

列出每臺(tái)設(shè)備的最大/最小和公稱振動(dòng)能級(jí)

微環(huán)境

3.3.4

是否需要微環(huán)境？

物理特性

3.4

設(shè)備尺寸、重量

安裝要求

3.5

如何安裝

運(yùn)行要求

3.6

如何運(yùn)行

維護(hù)要求

3.7

如何維護(hù)

預(yù)加工

3.8

產(chǎn)品或服務(wù)說明

后加工

3.9

產(chǎn)品或服務(wù)說明

工藝通過量

3.10

一段時(shí)間內(nèi)通過設(shè)備的產(chǎn)品量

通訊要求

3.12

說明

人機(jī)工程要求

3.13

說明

表H.4—依據(jù)H．3．4確定的外部因素

內(nèi)容

序號(hào)

說明

規(guī)定值

實(shí)現(xiàn)的性能

規(guī)章要求

4.1

列出各種影響場地的選擇和使用的規(guī)章方面的因素，包括當(dāng)?shù)貐^(qū)劃法律、法令、當(dāng)?shù)囟悇?wù)結(jié)構(gòu)和審批要求。

動(dòng)力資源和因素

4.2

列出各種動(dòng)力資源，包括可用性、質(zhì)量和數(shù)量。

現(xiàn)場供水

4.2.1

列出當(dāng)?shù)氐叵滤褪姓o水情況，包括毒性、濁度等。

現(xiàn)場空氣質(zhì)量

4.2.2

列出現(xiàn)場現(xiàn)有的空氣質(zhì)量特性

現(xiàn)場供電因素

4.2.3

列出當(dāng)?shù)毓╇娗闆r，即，V/Ph/Hz、波動(dòng)強(qiáng)度和頻率等。

現(xiàn)場排廢系統(tǒng)因素

4.2.4

列出當(dāng)?shù)貜U物系統(tǒng)的情況

現(xiàn)場振動(dòng)特性

4.3

評(píng)定場地所在地的振動(dòng)級(jí)和變化情況。評(píng)估對計(jì)劃的工藝和設(shè)施有無潛在的影響。

周圍環(huán)境因素

4.4

列出所有周圍、鄰近場地的構(gòu)筑物、工藝、污染等。評(píng)估對計(jì)劃的工藝、設(shè)施和人員有無潛在的影響。

現(xiàn)場巖土因素

4.5

列出各種現(xiàn)場巖土因素，即，土壤毒性、土壤膨脹特性等。評(píng)估對計(jì)劃的設(shè)施有無潛在的影響。

保安和進(jìn)出因素

4.6

列出保安和進(jìn)出因素。評(píng)估對設(shè)施有無影響

大氣要求

5.1

考慮工藝、設(shè)備和人員的要求，在初始時(shí)按潔凈度分級(jí)列表。只在設(shè)計(jì)深入展開后才列出按潔凈度分級(jí)的各個(gè)工藝區(qū)。

潔凈度

5.1.1

要求的潔凈度等級(jí)

氣流流型

5.1.2

列出潔凈室內(nèi)氣流方式，即，單向流、非單向流向或混合流。

氣流方向

5.1.3

列出潔凈室內(nèi)氣流方向，即，垂直或水平。

氣流速度

5.1.4

列出潔凈室內(nèi)工藝區(qū)中的氣流速度。

空氣循環(huán)系統(tǒng)和構(gòu)造

5.1.5

評(píng)定潔凈室內(nèi)空氣循環(huán)系統(tǒng)的構(gòu)造?？紤]工藝、規(guī)章、人員和預(yù)算方面的因素。

干球溫度

5.1.6

評(píng)定潔凈室內(nèi)干球溫度要求，包括最大、最小和公稱值

干球溫度上升率

5.1.6.1

列出潔凈室內(nèi)最大允許干球溫度上升率

干球溫度下降率

5.1.6.2

列出潔凈室內(nèi)最大允許干球溫度下降率

濕度

5.1.7

評(píng)定潔凈室內(nèi)濕度要求，包括最大、最小和公稱值

濕度上升率

5.1.7.1

列出潔凈室內(nèi)最大允許濕度上升率

濕度下降率

5.1.7.2

列出潔凈室內(nèi)最大允許濕度下降率

壓力

5.1.8

列出潔凈室內(nèi)的壓力

壓差

5.1.8.1

列出潔凈室內(nèi)的壓力較高空間與相鄰區(qū)或壓力較低空間的壓差

壓力變化率

5.1.8.2

列出潔凈室內(nèi)最大允許空間壓力變化率

聲壓級(jí)（噪聲）

5.2

列出潔凈室內(nèi)最大允許和公稱聲壓級(jí)

振動(dòng)

5.3

列出潔凈室內(nèi)最大允許和公稱振動(dòng)能級(jí)

照明

5.4

列出潔凈室內(nèi)最小和公稱照明要求，及有無波長限制

吊頂→地面高度

5.5.1

列出潔凈室吊頂→樓面高度要求

設(shè)備平面圖

5.5.2

列出潔凈室內(nèi)設(shè)備平面要求，即，長寬要求。

樓面負(fù)荷

5.5.3

最大重量負(fù)荷

離子化

5.6

電荷平衡（空氣）

潔凈室內(nèi)人身安全要求

6.1

鑒別對設(shè)施有影響的各種安全規(guī)范和規(guī)程

空氣循環(huán)區(qū)的分隔

6.2

評(píng)定各個(gè)區(qū)對控制和隔離的特殊要求

有毒、易燃、危險(xiǎn)材料的貯存和運(yùn)輸

6.3

評(píng)定特殊工藝和總體設(shè)施的貯存要求

疏散要求

6.4

評(píng)定最小疏散距離要求

物理要求

6.5

評(píng)定對防火材料和組件的要求

吹洗系統(tǒng)

6.6

是否需要？

流速

6.6.1

流速多大？

雙套系統(tǒng)

7.1

100%的可更換能力

超規(guī)格系統(tǒng)

7.2

規(guī)格要大于要求

最大的部件后備

7.3

單次故障100%更換

其它來源

7.4

交替轉(zhuǎn)換

故障檢測和報(bào)告

7.5

方法變換

7.6

手動(dòng)或自動(dòng)

表H.8—依據(jù)H．3．8確定的操作和維護(hù)因素

內(nèi)容

序號(hào)

說明

規(guī)定值

實(shí)現(xiàn)的性能

MTBF

8.1

平均故障時(shí)間

MTTR

8.2

平均維修時(shí)間

最大維修時(shí)間間隔

8.3

修復(fù)時(shí)間多長？

可用的備件

8.4

多少？種類？

表H.9—依據(jù)H．3．9確定的影響人和生產(chǎn)力的個(gè)人因素

內(nèi)容

序號(hào)

說明

規(guī)定值

實(shí)現(xiàn)的性能

人流、物流要求

9.1

評(píng)定產(chǎn)品和工藝流程的要求和人流的要求。評(píng)定各個(gè)工序之間的距離及其功能的相互依賴性。評(píng)定人流和進(jìn)出的需求。

氣閘

9.1.1

是否要求？

更衣要求

9.1.2

服裝類型？

工作頻率

9.2

列出潔凈室的工作頻率，即，連續(xù)或間斷。如果是間斷性，要規(guī)定工作頻率，如每周5天，每天8小時(shí)。

人機(jī)工程學(xué)

9.3

任何要求

美學(xué)

9.4

任何要求

建造成本

10.1

原始成本

運(yùn)行成本

10.2

使用能源費(fèi)用

10.2.1

鑒別降低工作成本的方法

維護(hù)費(fèi)用

10.2.2

壽命周期費(fèi)用

10.3

占有成本

表H.11—依據(jù)H．3．11確定的時(shí)間進(jìn)度

內(nèi)容

序號(hào)

說明

規(guī)定值

實(shí)現(xiàn)的性能

任務(wù)定義

11.1

項(xiàng)目任務(wù)由用戶和供應(yīng)商商定

規(guī)定里程碑

11.2

鑒別或規(guī)定項(xiàng)目中關(guān)鍵的里程碑和驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)

表H.12—依據(jù)H．3．12確定的其他內(nèi)容

內(nèi)容

序號(hào)

說明

規(guī)定值

實(shí)現(xiàn)的性能

未來

12.1

現(xiàn)在準(zhǔn)備考慮嗎？

靈活性

12.2

現(xiàn)在準(zhǔn)備考慮嗎？