無塵車間密閉性測試標(biāo)準(zhǔn)

C．8．1 本節(jié)適用于確認(rèn)有無被污染的空氣從相鄰潔凈室(區(qū))或非潔凈室(區(qū))通過吊頂、隔墻等表面或門、窗滲漏入潔凈室(區(qū))。適用于1級至5級的潔凈室(區(qū))進(jìn)行測試?？刹捎霉舛扔?jì)法和粒子計(jì)數(shù)器法進(jìn)行測試。

C．8．2 采用粒子計(jì)數(shù)器法時(shí)，測量被評價(jià)表面的潔凈室(區(qū))外部的空氣中懸浮粒子濃度，應(yīng)大于潔凈室(區(qū))內(nèi)的濃度10⁴的倍數(shù)，并應(yīng)至少大于或等于3．5×10⁶／m³；其空氣中懸浮粒子濃度不符合要求時(shí)，應(yīng)添加氣溶膠提高濃度。
    粒子計(jì)數(shù)器掃描時(shí)，儀器應(yīng)距離潔凈室(區(qū))內(nèi)待測試的接縫密封處或嚙合面5cm～10cm；掃描速度應(yīng)為5cm／s。對敞開的門廊處的測試，應(yīng)在距離潔凈室(區(qū))內(nèi)敞開的門0．3m～3．0m處檢測空氣中懸浮粒子濃度。

C．8．3 采用光度計(jì)法，測量潔凈室(區(qū))內(nèi)側(cè)被評價(jià)表面的空氣中懸浮粒子濃度，在光度計(jì)0．1％檔的設(shè)定值時(shí)，光度計(jì)的讀數(shù)超過0．01％即確認(rèn)存在滲漏，并應(yīng)做記錄。