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前言
ISO為全球各國(guó)標(biāo)準(zhǔn)化團(tuán)體(ISO 會(huì)員團(tuán)體)的聯(lián)合會(huì)。其國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)工作一般是由ISO各技術(shù)委員會(huì)執(zhí)行。每個(gè)會(huì)員團(tuán)體若對(duì)技術(shù)委員會(huì)的某一課題感興趣,均有權(quán)作為此技術(shù)委員會(huì)的代表。任何與ISO保持聯(lián)系的國(guó)際組織,無(wú)論是政府的還是非政府的組織,同樣可參加此項(xiàng)工作。ISO與國(guó)際電氣技術(shù)委員會(huì)(IEC)在電氣技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化方面進(jìn)行緊密合作。
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)草案由其技術(shù)委員會(huì)認(rèn)可后送各會(huì)員團(tuán)體進(jìn)行傳閱,以待表決。草案作為國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)頒布至少需要75%的會(huì)員團(tuán)體投贊成票。
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644-1由ISO/TC209潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境技術(shù)委員會(huì)提出。
ISO 14644在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 的總標(biāo)題下,由下述各部分組成:
第1部分:空氣潔凈度等級(jí)劃分
第2部分:為認(rèn)證與ISO 14644-1 連續(xù)的相符性的測(cè)試和監(jiān)測(cè)技術(shù)要求
第3部分:計(jì)量和測(cè)試方法
第4部分:設(shè)計(jì)、施工和啟動(dòng)
第5部分:運(yùn)行
第6部分:術(shù)語(yǔ)和定義
第7部分:增強(qiáng)的潔凈裝置
用戶應(yīng)注意,第2至第7部分的標(biāo)題為第1部分發(fā)行時(shí)的工作標(biāo)題。如果從工作計(jì)劃中刪除了一部分或幾部分,剩余部分可以重新編寫。
附錄B和C為潔凈室ISO 14644的組成部分,附錄A、D、E和F僅作資料用。
引言
潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境保證空氣中懸浮粒子被控制在合適的級(jí)別,以確保完成對(duì)污染敏感的有關(guān)活動(dòng)。以下行業(yè)的產(chǎn)品和工藝均得益于空氣中懸浮污染物的控制:航天、微電子、醫(yī)藥、醫(yī)療器械、食品和保健品。
ISO 14644的本部分指定ISO分級(jí)的各級(jí)別,以此作為潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境內(nèi)空氣潔凈度的技術(shù)要求。本部分不僅確定了空氣中懸浮粒子測(cè)試的程序,而且確定了測(cè)試的標(biāo)準(zhǔn)方法。
為劃分等級(jí),ISO 14644的本部分僅限于確定粒子濃度限值用的指定的粒徑范圍。本部分還提供了標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議,以依據(jù)大于或小于指定分級(jí)用粒徑范圍的懸浮粒子濃度等級(jí)標(biāo)識(shí)。
ISO 14644的本部分為潔凈室和污染控制系列標(biāo)準(zhǔn)中的一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)。潔凈室除懸浮粒子潔凈度之外,還有許多因素必須在潔凈室及其受控環(huán)境的設(shè)計(jì)、技術(shù)要求、運(yùn)行和控制中予以考慮。這些內(nèi)容在ISO/TC209技術(shù)委員會(huì)制定的其它國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)中有詳細(xì)論述。
在某些情況下,潔凈室有關(guān)管理機(jī)構(gòu)可能會(huì)規(guī)定動(dòng)作一些補(bǔ)充的政策或限制。這就可能要求對(duì)標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)試程序作適當(dāng)?shù)男薷摹?/p>